構造的に、真空リレーは 2 つの主要なカテゴリに分類できます。
排気-タイプの構造
このタイプの特徴は排気管があることで、空気を抜くために真空排気ステーションを使用する必要があります。アーマチュア作動機構は真空システムの「内部」にあります。コイルを流れる制御電流によって生成される電磁力により、真空内に配置されたヒンジ付きアーマチュア-が動きます-。この動きにより可動接点が駆動され、開閉（開閉）動作が行われる。
ダイヤフラム-タイプの構造
この設計の主な特徴は、真空ろう付け炉内に真空環境が直接確立されるため、別途の排気プロセスが必要ないことです。この構成では、アーマチュア機構は真空チャンバーの「外側」に配置され、アーマチュアの動きは柔軟なシールダイヤフラムを介して真空チャンバーの内部に伝達されます。